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半導體冷水機是指 應用在半導體領域,如掃描光刻機、微納坐標測量機、掃描探針顯微鏡等超精密儀器的高精度冷水機組。
半導體材料芯片冰水機的引起并且廣泛性采用,是總是地科技有限公司的總是成長,意式超高精密加工制作、加工制作、側量方式 分析儀器對做工作生活環保提出來了挑剔標準,越發是以光刻機為指代的太大大小集成化型電線加工制作機械設備,其高集成化型度引起常規的,散熱處理方式 大大的不允許無法標準,同一投射物鏡的光刻水平、跑步零件的品牌定位精密度較并且側量方式 器的側量方式 精密度較等都對生活環保主要參數設置的發生改變獨特是溫差的發生改變著實皮膚敏感。之所以,生活環保主要參數設置越發是溫差的把控加入每項關鍵性相關問題,而半導體材料芯片冰水機的引起陽光正好處理了某種困惑。 半導體材料溫水機工作中溫度管控系統是 保障步進電機打印儀光刻機、微納坐標軸校正機、打印儀測試探針光學顯微鏡等超精密鑄造機器設施設施優質工作中情況的首要構成單無。半導體冷水機參數:
品牌種類
|
技術(shu)參數
|
制泠量(liang)
|
出水壓力
Kgf/cm |
水流量
l/min |
功率
W |
水箱容積
L |
外表厚度
長*寬(kuan)*高
|
|
半導體
涼開水機
|
Kw/h
|
Kca/h
|
||||||
0.3
|
258
|
0.1-0.6
|
9-20
|
280
|
5.5
|
505*230*500
|
||
0.6
|
516
|
0-2
|
0-60
|
900
|
16
|
650*550*750
|
||
1
|
860
|
0-2
|
0-60
|
900
|
16
|
650*550*750
|
||
1.5
|
1290
|
0-2
|
0-60
|
900
|
16
|
650*550*750
|
||
2
|
1720
|
0-2
|
0-60
|
1200
|
27
|
650*550*900
|
||
2.5
|
2150
|
0-2
|
0-60
|
1200
|
27
|
650*550*900
|
||
3
|
2580
|
0-2
|
0-60
|
1500
|
37
|
650*650*1050
|
||
3.5
|
3010
|
0-2
|
0-60
|
1500
|
37
|
650*650*1050
|
||
4
|
3440
|
0-2
|
0-60
|
2000
|
43
|
700*650*1050
|
||
4.5
|
3870
|
0-2
|
0-60
|
2000
|
43
|
700*650*1050
|
||
6
|
5160
|
0-2
|
0-60
|
2300
|
45
|
750*650*1050
|
||
6.5
|
5590
|
0-2
|
0-60
|
2300
|
45
|
750*650*1050
|
||
8
|
6880
|
0-2
|
0-60
|
2865
|
47
|
750*700*1050
|
||
10
|
8600
|
0-2
|
0-60
|
2865
|
47
|
750*700*1050
|
||
12
|
10320
|
0-2
|
0-60
|
3870
|
80
|
1200*650*1200
|
||
15
|
12900
|
0-2
|
0-60
|
4600
|
88
|
1200*715*1200
|
||
18
|
15480
|
0-2
|
0-60
|
5280
|
105
|
1350*750*1500
|
||
20
|
17200
|
0-2
|
0-60
|
7150
|
180
|
1350*800*1600
|
||
23
|
19780
|
0-2
|
0-60
|
7150
|
180
|
1350*800*1600
|
||
25
|
21500
|
0-2
|
0-60
|
9000
|
195
|
1350*850*1735
|
||
30
|
25800
|
0-2
|
0-60
|
9000
|
195
|
1350*850*17358
|
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